ST-21L型方块电阻测试仪是一种依照类似的国家标准和美国A.S.T.M标准，专门测量半导体薄层电阻(表面电阻)的新型仪器，可用于测量一般半导体材料、导电薄膜(ITO透明氧化膜)，金属薄膜……等同类物质的薄层电阻。

该仪器以大规模集成电路为主要核心；用基准电源和运算放大器组成高精度稳流源；带回路有效正常指示电路；并配以大型LCD显示读数，使仪器具有体积小、重量轻、外形美、易操作、测量速度快、精度高的特点。

ST-21L型方块电阻测试仪测量范围

按方块电阻量值大小分为二个量程档：
1.方块电阻 1.00～19.999Ω/□；
2.方块电阻 10.0～199.99Ω/□；
小分辨率：0.001Ω/□

横流源：测量过程误差：≤±0.8%

模拟转换器：量程：0～199.99mv；
分辨率：10μv；
方式：LCD大屏幕显示；极性，超量程均自动显示；小数点同步显示；

测量不确定度：在整个量程范围内，测量不确定度≤5%

四探针探头规格：间距：1mm、1.59mm、3.8mm；偏差≤2%；游移率≤0.3%；绝缘电阻≥500MΩ

电源使用一节450mAH的锂电池